IoA談話会2012 の履歴(No.44)

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  • 1 (2012-03-25 (日) 01:02:43)
  • 2 (2012-04-04 (水) 05:39:50)
  • 3 (2012-04-04 (水) 06:25:02)
  • 4 (2012-04-06 (金) 07:14:08)
  • 5 (2012-04-16 (月) 04:17:16)
  • 6 (2012-04-18 (水) 08:49:50)
  • 7 (2012-04-23 (月) 01:24:41)
  • 8 (2012-04-25 (水) 09:00:17)
  • 9 (2012-05-07 (月) 04:26:29)
  • 10 (2012-05-22 (火) 08:18:28)
  • 11 (2012-05-23 (水) 03:37:37)
  • 12 (2012-05-25 (金) 07:51:37)
  • 13 (2012-06-01 (金) 22:16:43)
  • 14 (2012-06-26 (火) 00:41:17)
  • 15 (2012-06-26 (火) 23:52:19)
  • 16 (2012-06-29 (金) 12:38:14)
  • 17 (2012-07-10 (火) 12:47:21)
  • 18 (2012-07-11 (水) 02:17:46)
  • 19 (2012-07-12 (木) 01:22:56)
  • 20 (2012-07-17 (火) 03:36:58)
  • 21 (2012-07-28 (土) 14:10:10)
  • 22 (2012-08-09 (木) 01:37:00)
  • 23 (2012-08-09 (木) 11:55:58)
  • 24 (2012-08-10 (金) 01:20:37)
  • 25 (2012-08-10 (金) 07:19:51)
  • 26 (2012-08-26 (日) 22:55:56)
  • 27 (2012-08-27 (月) 06:06:51)
  • 28 (2012-08-31 (金) 07:59:06)
  • 29 (2012-09-03 (月) 07:12:39)
  • 30 (2012-09-09 (日) 00:33:29)
  • 31 (2012-09-10 (月) 06:33:56)
  • 32 (2012-09-13 (木) 08:34:56)
  • 33 (2012-09-24 (月) 01:44:02)
  • 34 (2012-10-01 (月) 07:58:37)
  • 35 (2012-10-05 (金) 00:08:30)
  • 36 (2012-10-31 (水) 06:57:46)
  • 37 (2012-11-07 (水) 00:02:36)
  • 38 (2012-11-13 (火) 22:43:33)
  • 39 (2012-11-21 (水) 01:21:20)
  • 40 (2012-11-26 (月) 11:05:51)
  • 41 (2012-11-28 (水) 06:06:14)
  • 42 (2012-12-04 (火) 09:58:37)
  • 43 (2012-12-05 (水) 09:41:42)
  • 44 (2012-12-13 (木) 17:29:01)
  • 45 (2012-12-26 (水) 06:02:27)
  • 46 (2012-12-27 (木) 05:05:13)
  • 47 (2012-12-28 (金) 00:06:42)
  • 48 (2013-01-07 (月) 00:21:48)
  • 49 (2013-01-19 (土) 09:31:48)
  • 50 (2013-01-29 (火) 06:54:01)
  • 51 (2013-02-06 (水) 02:06:18)
  • 52 (2013-02-08 (金) 01:32:15)
  • 53 (2013-02-15 (金) 05:15:06)
  • 54 (2013-02-22 (金) 04:31:31)
  • 55 (2013-03-11 (月) 02:16:26)
  • 56 (2013-03-15 (金) 01:14:40)
  • 57 (2013-03-18 (月) 03:20:41)
  • 58 (2013-03-27 (水) 06:54:58)

IoA Seminar 2012 / 2012年度・東京大学・天文学教育研究センター・談話会†

次回以降の談話会†

第212回: 2012/12/20(木) 15:30-16:30†

小田 政利 (NTTアドバンステクノロジ)

"半導体微細加工技術とその応用"
 
リソグラフィ技術とエッチング技術からなる半導体微細加工技術は
LSI製造の分野で開発されてきたが、今日ではMEMSをはじめ、
光学部品や機械部品等さまざまな分野で利用されるようになってきた。
これからもさらに幅広く応用されていくものと期待されるが、一方で、
限られた分野で開発・使用されてきた技術であるために技術内容は
あまり知られていない。ここではリソグラフィ技術とエッチング
技術の概要と特徴を述べそれらを用いた微細加工例を紹介する。
 リソグラフィ技術では、フォトリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、
X線リソグラフィ（LIGA用）それぞれの技術の推移と特徴、主な
開発項目等を述べる。またエッチングについてはウエットエッチング
とドライエッチングの概要を述べ、ドライエッチングについては
高精度化に向けてこれまで開発されてきた主な技術を紹介する。
最後にこれらの微細加工技術を用いた応用例を紹介する。

趣旨†

東京大学・天文学教育研究センターでは2003年4月から, 院生コロキウムに引き続き, 談話会を開いています.
第一線で活躍されている研究者の方々を講師にお招きし, 最先端の研究成果をお話しいただきます.
講師の方には, 大学院生の参加者のことも考慮し, レビュー的な側面も含めた上で, ご自身の研究紹介をお願いしています.

日時†

• 木曜日
• 15:30-16:30

場所†

• 天文センター講義室

タイムテーブル†

世話人†

• 本原 顕太郎: kmotohara_at_ioa.s.u-tokyo.ac.jp (_at_を@に置き換えてください)
• 酒向 重行: sako_at_ioa.s.u-tokyo.ac.jp (_at_を@に置き換えてください)

予定†

終了した談話会(今年度)†

詳細はこちら: 平成24 (2012) 年度談話会

昨年度までの談話会†

• 平成24 (2012) 年度談話会
• 平成23 (2011) 年度談話会
• 平成22 (2010) 年度談話会
• 平成21 (2009) 年度談話会
• 平成20 (2008) 年度談話会
• 平成19 (2007) 年度談話会
• 平成18 (2006) 年度談話会
• 平成17 (2005) 年度談話会
• 平成16 (2004) 年度談話会
• 平成15 (2003) 年度談話会