IoA Seminar 2012 / 2012年度・東京大学・天文学教育研究センター・談話会†
次回以降の談話会†
第212回: 2012/12/20(木) 15:30-16:30†
小田 政利 (NTTアドバンステクノロジ)
"半導体微細加工技術とその応用"
リソグラフィ技術とエッチング技術からなる半導体微細加工技術は
LSI製造の分野で開発されてきたが、今日ではMEMSをはじめ、
光学部品や機械部品等さまざまな分野で利用されるようになってきた。
これからもさらに幅広く応用されていくものと期待されるが、一方で、
限られた分野で開発・使用されてきた技術であるために技術内容は
あまり知られていない。ここではリソグラフィ技術とエッチング
技術の概要と特徴を述べそれらを用いた微細加工例を紹介する。
リソグラフィ技術では、フォトリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、
X線リソグラフィ（LIGA用）それぞれの技術の推移と特徴、主な
開発項目等を述べる。またエッチングについてはウエットエッチング
とドライエッチングの概要を述べ、ドライエッチングについては
高精度化に向けてこれまで開発されてきた主な技術を紹介する。
最後にこれらの微細加工技術を用いた応用例を紹介する。
東京大学・天文学教育研究センターでは2003年4月から, 院生コロキウムに引き続き, 談話会を開いています.
第一線で活躍されている研究者の方々を講師にお招きし, 最先端の研究成果をお話しいただきます.
講師の方には, 大学院生の参加者のことも考慮し, レビュー的な側面も含めた上で, ご自身の研究紹介をお願いしています.
タイムテーブル†
| 13:30-14:30 | 院生コロキウム | 講義室 |
| 15:30-16:30 | 談話会 | 講義室 |
| 16:30- | お茶の時間 | 講義室横のお茶部屋~講師の方を交えて~ |
世話人†
- 本原 顕太郎: kmotohara_at_ioa.s.u-tokyo.ac.jp (_at_を@に置き換えてください)
- 酒向 重行: sako_at_ioa.s.u-tokyo.ac.jp (_at_を@に置き換えてください)
| # | 日付 | 講演者 (所属) | タイトル |
| 213 | 2012/03/14(木) | 榎 基宏 (東京経済大学) | 未定 |
| 214 | 2012/03/28(木) | 工藤 智幸 (国立天文台ハワイ観測所) | 未定 |
終了した談話会(今年度)†
詳細はこちら: 平成24 (2012) 年度談話会
| # | 日付 | 講演者 (所属) | タイトル |
| 194 | 2012/04/02(火) | Richard Blank (Teledyne Imaging Sensor) | "Focal plane arrays and focal plane electronics for large scientific telescopes – new developments at Teledyne" |
| 195 | 2012/04/04(木) | 羽澄 昌史 (KEK) | 「宇宙マイクロ波背景放射偏光観測によるインフレーション宇宙の検証」 |
| 196 | 2012/04/11(木) | 鈴木 尚孝 (LBNL) | 「高精度観測的宇宙論時代へ向けて」 |
| 197 | 2012/04/26(木) | 和田 桂一 (鹿児島大学) | 「動的平衡状態としての銀河渦巻」 |
| 198 | 2012/05/10(木) | Chris Packham (Univ. Florida) | "IR Observations of AGN: Characterizing the Torus" |
| 199 | 2012/06/21(木) | 小林 正和 (NAOJ) | 「宇宙の星形成史におけるダスト減光量補正の妥当性検証」 |
| 200 | 2012/07/12(木) | Robert Quimby (IPMU) | "Superluminous Supernovae" |
| 201 | 2012/07/26(木) | Narae Hwang (NAOJ) | "Extended Star Clusters and Galaxy Evolution" |
| 202 | 2012/08/02(木) | Or Graur (Tel Aviv University/American Museum of Natural History) | "The Oldest Explosions: Type Ia Supernova Rates from Low- and High-Redshift Surveys " |
| 203 | 2012/09/07(金) | 斉藤 嘉彦 (東工大) | 「すばる望遠鏡補償光学系におけるレーザーガイド星生成システムの開発」 |
| 204 | 2012/09/13(木) | 下農 淳司 (IPMU) | 「扇形分割主鏡のリアルタイム制御アルゴリズム開発の現状と課題」 |
| 205 | 2012/10/04(木) | 吉田 直紀 (東京大学) | 「初期宇宙の進化」 |
| 206 | 2012/10/11(木) | 松田 有一 (NAOJ) | "The Circum-galactic Medium at Galaxy Formation Epoch" |
| 207 | 2012/11/1(木) | 家中信幸 (東京大学) | "Diffuse Galactic Light" |
| 208 | 2012/11/08(木) | 鈴木 賢太 (東京大学) | "Formation of Massive Cluster Galaxies in the Protocluster atz=2.48 " |
| 209 | 2012/11/22(木) | Hanindyo Kuncarayakti (東京大学) | "IFU spectroscopy of SN sites: constraining progenitor mass & metallicity" |
| 210 | 2012/11/29(木) | 小山 翔子 (東大D3) | VLBI7mmによるブレーザーMrk 501のコアふらつき探査 |
| 211 | 2012/12/06(木) | 塩谷 圭吾 (ISAS/JAXA) | 系外惑星の精査に向けたコロナグラフの開発研究 |
| 212 | 2012/12/20(木) | 小田 政利 (NTTアドバンステクノロジ) | 半導体微細加工技術とその応用 |
昨年度までの談話会†
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